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真空泵有哪些密封要求如何防止漏油

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真空泵有哪些密封要求如何防止漏油

发布日期:2020-10-19 作者: 点击:

真空泵在其工作压强下,应及时排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。

 

真空泵不能在大气压下工作,需要预真空,有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

 

真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。

 

真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。


一、机械密封装置;

1.动环和静环表面须光洁,不得有任何划伤,密封面的平面度保持 在0.87um之内。

2.水环真空泵密封装置处轴的径向跳动应小于0.03mm。

3.弹簧无裂纹、锈蚀等缺陷,弹簧两端面与中心线的垂直度偏差应小于5/1000,同一机械密封中各弹簧之间的自由高度差不大于0.5mm。

4.动环和静环密封端面的瓢偏应不大于0.02mm,两端面的不平行度应不大于0.04mm。

 

二、 浮动环密封装置:

1.支承环和浮动环及轴上安装浮动环的部位,应光洁无损伤;浮动环和支承环的密封端面应进行涂色检查,要求接触良好。

2.浮动环同轴套的径向总间隙,一般为0.15-0.25mm。

3.文承环及轴套的径向间隙应四周均匀。

4.支承弹簧应无缺陷,同组浮动环支承弹簧的自由高度偏差,应不大于0.5mm。

 

机械真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处,主要原因是磨损时间过长,密封件损坏或装配不良,未压紧和上紧螺钉时用力不均而造成。发现某处漏油时,维修工作者和操作者应立即采取措施,不应习以为常,认为“小毛病”不伤大雅而听之任之。否则长此以往将引起泵漏气或损坏。漏油并不难解决,只须先放出泵油,拆开泄漏处以调换密封件即可。前已介绍过轴封漏的解决办法,对放油孔渗漏,可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上,对油窗等其他密封处漏油可同样处理。箱体本身掺漏较少见,多由砂眼引起,可使用环氧树脂等堵漏剂将其封死。


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